集成電路芯片工廠潔凈室建設(shè)解決方案示例
2022-04-26
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集成電路芯片潔凈室
集成電路潔凈車間建設(shè)方案簡要：集成電路芯片工廠對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。因此集成電路芯片工廠的設(shè)計(jì)也...
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工信部備案號：