潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
潔凈廠房作為集成電路產業(yè)的重要組成部分,設計規(guī)劃至關重要。下面,合潔科技電子凈化工程將從幾個重要的要點來分析集成電路潔凈廠房的設計規(guī)劃。
一、布局設計潔凈區(qū)域
首先,設計應該考慮到潔凈區(qū)域的大小,應該針對集成電路制造的各個環(huán)節(jié)組織潔凈室空間,例如材料存放、物料傳遞、制造、測試和包裝等。潔凈區(qū)域的規(guī)劃應該滿足潔凈度要求以及避免生產中的交叉感染。
二、空氣潔凈度
空氣潔凈度是衡量集成電路潔凈廠房的重要指標,是保證產品質量的關鍵環(huán)節(jié)。潔凈廠房應根據生產需求設置不同的潔凈度級別,同時要保證室內空氣流通,排出污染物。
三、地面、墻面和天花板
潔凈廠房的地面、墻面和天花板應選用易清潔、耐磨、防腐、耐酸堿等材料,同時要保證表面光滑,不產生塵埃。地面需要設置排水系統,以便清洗。
四、照明設計
潔凈廠房的照明設計應保證明亮度、穩(wěn)定性和無陰影,同時要避免照明設備對生產設備的影響。
五、環(huán)境監(jiān)測
潔凈廠房應設置環(huán)境監(jiān)測系統,對空氣潔凈度、溫度、濕度等環(huán)境因素進行實時監(jiān)測,保證生產環(huán)境的穩(wěn)定性和產品質量的可靠性。
六. 空氣壓力控制
在集成電路制造過程中,空氣壓力要求較高,一般應維持在正壓狀態(tài)。因此,潔凈室內的空氣壓力控制系統是非常必要的,以確保供氣管道能夠恰好注入客戶所要求的標準壓力。同樣,潔凈室的門應該采用抗斜拉設計并配有氣密密封墊,確保進出門時無空氣透過隙縫進入室內。
結尾:
總之,集成電路潔凈廠房設計規(guī)劃需要考慮到潔凈廠房的實際需求和生產流程,并確保嚴格的潔凈環(huán)境。一個良好設計的潔凈廠房能夠極大程度地保障集成電路質量,并為以后進一步的技術突破和研發(fā)提供可靠的基礎設施。