晶圓潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)是很重要的存在，空調(diào)系統(tǒng)的布置有多種分類，如果按照空氣處理設(shè)備布置情況分類的話，可以分為以下幾種。具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　1、集中式空調(diào)系統(tǒng)

　　所有空氣處理設(shè)備包括：風(fēng)機(jī)、加熱、冷卻設(shè)備、加濕、減濕設(shè)備、過濾器等都集中設(shè)置在一個空調(diào)機(jī)房內(nèi)，稱為集中式空調(diào)系統(tǒng)。空氣經(jīng)過集中處理后，再送往各個空調(diào)房間內(nèi)。

　　優(yōu)點(diǎn)：服務(wù)面積大，處理空氣多，便于集中管理。

　　缺點(diǎn)：只能送出同一參數(shù)的空氣，難以滿足不同的要求，另外，由于冷源采用集中式供應(yīng)，處理空氣量大，機(jī)房占地面積較大，只適用于滿負(fù)荷運(yùn)行的大型場所。

　　其中室內(nèi)回風(fēng)和室外新風(fēng)混合后經(jīng)過處理再通過送風(fēng)管道送到每個空調(diào)房間是一種常見的方式。

　　回風(fēng)和新風(fēng)再送入每個房間之前必須通過集中的空氣處理裝置(組合式空調(diào)箱)進(jìn)行降溫/升溫、加濕/去濕處理，再通過主風(fēng)道和各個支管風(fēng)道送入每個空調(diào)房間，以保證房間所要求的溫度和濕度要求。

　　2、半集中式空調(diào)系統(tǒng)

　　這種系統(tǒng)的特點(diǎn)是除了設(shè)有集中的空調(diào)機(jī)房外，還設(shè)有分散在各個房間的二次處理設(shè)備(又稱為末端裝置)來承擔(dān)一部分冷熱負(fù)荷。

　　在半集中式系統(tǒng)中，空氣處理所需的冷、熱源也是由集中設(shè)置的冷凍站、交換站供給。因此，集中式和半集中式空調(diào)系統(tǒng)又統(tǒng)稱為中央空調(diào)系統(tǒng)。

　　優(yōu)點(diǎn)：占建筑空間小，各空調(diào)房間可根據(jù)需要獨(dú)立調(diào)節(jié)室溫，房間無人時，可單獨(dú)關(guān)閉室內(nèi)機(jī)組的風(fēng)機(jī)，節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用。

　　缺點(diǎn)：布置分散，系統(tǒng)復(fù)雜，維護(hù)管理不方便。

　　3、分散式空調(diào)系統(tǒng)

　　又稱為局部空調(diào)系統(tǒng)。它是把空氣處理所需的冷熱源、空氣處理和輸送設(shè)備、控制設(shè)備等集中設(shè)置在一個箱體內(nèi)，組成一個緊湊的空調(diào)機(jī)組?？砂凑招枰`活、方便地設(shè)置在需要空調(diào)的地方。全分散空調(diào)系統(tǒng)不需要集中的空氣處理機(jī)房。

　　常用的有單元式空調(diào)器系統(tǒng)，窗式空調(diào)器系統(tǒng)和分體式空調(diào)器系統(tǒng)。

　　4、精密空調(diào)系統(tǒng)

　　精密空調(diào)系統(tǒng)是一種專門用于潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)，具備高精度的溫濕度控制能力。它通常采用多個空調(diào)單元組成，每個單元負(fù)責(zé)一個小范圍的溫濕度控制，以確保晶圓制造過程中的精確要求。

　　5、風(fēng)淋室空調(diào)系統(tǒng)

　　風(fēng)淋室是晶圓潔凈廠房中的特殊區(qū)域，用于對進(jìn)入潔凈區(qū)域的人員和物品進(jìn)行除塵處理。風(fēng)淋室空調(diào)系統(tǒng)通過高速氣流從頂部吹向底部，將空氣中的顆粒物帶走。該系統(tǒng)通常采用高效過濾器和風(fēng)機(jī)組成。

　　這些空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)晶圓潔凈廠房的需求和規(guī)模的不同，可以選擇適合的空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行安裝和使用。重要的是確?？照{(diào)系統(tǒng)能夠提供穩(wěn)定的溫濕度控制，并符合潔凈度等級的要求。