設計和搭建電子潔凈廠房的排氣系統(tǒng)是確保廠房空氣質(zhì)量和潔凈度的重要環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子潔凈工程公司對設計和搭建電子潔凈廠房排氣系統(tǒng)的一般步驟和考慮因素的介紹：

　　1、需求分析：首先需要明確潔凈廠房的具體需求，包括潔凈度等級、空氣流量要求、排氣口位置等。

　　2、系統(tǒng)設計：根據(jù)需求設計排氣系統(tǒng)，確定排氣口的位置、數(shù)量和大小，選擇合適的排氣設備(如風機、風管等)。

　　3、空氣流動分析：進行空氣流動分析，確保排氣系統(tǒng)設計合理，能夠有效排除廠房內(nèi)的污染物和異味。

　　4、風管布局：設計風管的布局，確保風管連接合理，通風暢通，避免死角和積塵。

　　5、風機選擇：選擇適合潔凈廠房的高效風機，確保排氣系統(tǒng)能夠提供足夠的排風量和負壓。

　　6、排氣口設置：合理設置排氣口，避免排氣口位置對潔凈廠房產(chǎn)生負面影響，如引入外部污染物或影響空氣流動。

　　7、風速控制：設計風速控制系統(tǒng)，確保排氣系統(tǒng)能夠根據(jù)需要調(diào)節(jié)風速，以適應不同工作狀態(tài)下的空氣流動需求。

　　8、安裝調(diào)試：按照設計方案進行排氣系統(tǒng)的安裝和調(diào)試，確保系統(tǒng)正常運行和達到設計要求。

　　上述規(guī)定是依據(jù)近年來電子工業(yè)潔凈廠房工程的設計實踐和已經(jīng)投人運行的相關工程項目的安全可靠運營的經(jīng)驗總結，并且參照了國外相關標準的技術要求。在美國消防協(xié)會(NFPA)2018年版的《半導體制造的消防標準》(NFPA 318)中要求：“排風系統(tǒng)應設有自動應急電源;應急電源工作時，應達到不低于排氣系統(tǒng)50%的容量;使用可燃、易燃氣體或化學品的設備，應設有可燃、易燃氣體或蒸汽濃度低至爆炸下限20%以下的排氣系統(tǒng)。

　　據(jù)了解，國內(nèi)已經(jīng)建成投運或正在建設的微電子生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的可燃、易燃氣體或蒸汽和粉塵的排風系統(tǒng)，為確保潔凈廠房的安全可靠性、排風系統(tǒng)的排風量均應達到在正常運行或事故情況下，排風管內(nèi)這些有害物質(zhì)的濃度不得大于該物質(zhì)爆炸下限的20%計。為此在排風系統(tǒng)設有吸人房間空氣的自動裝置，并在排風管內(nèi)設有氣體濃度報警裝置，當排風系統(tǒng)中的有害物質(zhì)派度超過規(guī)定值時，在進行報警的同時，自動開啟吸人空氣降低排風中有害物質(zhì)的裝置，使排風系統(tǒng)總是不會因意外火源引發(fā)著火事故潔凈室(區(qū))及其上、下技術夾層均具有氣密性良好的要求，如果在潔凈廠房中含有有毒可燃、 易燃物質(zhì)的排氣系統(tǒng)一旦發(fā)生泄漏事故將會帶來十分嚴重的安全隱患，一旦超出規(guī)定限值可能使作業(yè)人員中毒甚至發(fā)生著火事故，所以相關規(guī)范中規(guī)定含有毒和易燃、易爆等危險物質(zhì)的排風系統(tǒng)的排風機、處理設備均應設置備用電源、備用風機，以防止排氣系統(tǒng)不正常停機事故的發(fā)生;并且這類排風系統(tǒng)內(nèi)應保持相對于風管路由區(qū)城一定的負壓值，以避免發(fā)生泄漏事故。

　　不僅如此，在相關規(guī)范中還規(guī)定在使用有毒、可燃、易燃、有爆炸危險物質(zhì)的生產(chǎn)工藝設備的‘氣體分配箱”、排風管道連接處和相應的潔凈室(區(qū))的室內(nèi)環(huán)境設有氣體泄漏報警裝置，為避免因危險物質(zhì)的泄漏超過規(guī)定限值引發(fā)安全事故的發(fā)生，并應設置氣體報警裝置與排風風機的自動連鎖控制。

　　潔凈廠房排氣 (廢氣)系統(tǒng)的設計建造安全技術措施主要有如下基本要求。

　?、倥艢庀到y(tǒng)應具有連續(xù)不斷運行的功能，這是確保潔凈廠房安全穩(wěn)定運行的重要條件之一，也是保持潔凈室的潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)過程不被玷污的必需的技術措施。如果潔凈廠房內(nèi)某排氣系統(tǒng)因安全技術措施出現(xiàn)故障導致其中斷運行，將會使該排氣系統(tǒng)涉及的潔凈室(區(qū))及其范圍內(nèi)生產(chǎn)工藝設備產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)生的有害物質(zhì)散發(fā)到相關房間內(nèi)，其嚴重后果是不言而喻的。此，“連續(xù)運行”是潔凈廠房排氣系統(tǒng)首要的安全技術措施基本要求。

　?、?潔凈廠房中各類排氣應嚴格遵守 “不準混排”或應按廢氣種類和不相容原則分類、分系統(tǒng)設置。這里所指的 “不相容”，Cincompatible是化學物質(zhì)經(jīng)由非故意的結合，可能產(chǎn)生劇烈的反應或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。在電子工業(yè)集成電路、液晶顯示器面板等產(chǎn)品生產(chǎn)中，由于其生產(chǎn)過程需用數(shù)十種不同物化性質(zhì)的化學品、特種氣體，因此在這類潔凈廠房內(nèi)的排氣系統(tǒng)必須十分嚴格執(zhí)行“不準混排”“按不相容原則分類、分系統(tǒng)”，以確保潔凈廠房的安全穩(wěn)定運行。例如在 GB 51401 中明確規(guī)定：氮氧化物度氣、高濃度酸皮氣應單獨設置皮氣系統(tǒng)，外延尾氣處理系統(tǒng)應單獨設置等

　　③各類排氣系統(tǒng)設計建造和運行應具有可靠的防止泄漏/滲漏的技術措施。簽于各類排氣系統(tǒng)中排出的介質(zhì)分別或同時具有易燃易爆、毒性、腐蝕性、氧化性和室息性等，一旦從排風系統(tǒng)泄漏到所涉及的環(huán)境，將可能引發(fā)火災、爆炸、中街等危區(qū)生命財產(chǎn)的重大災難性事故，因此防泄漏/滲漏是排氣系統(tǒng)安全技術措施的重要基本要求。

　?、芤罁?jù)排氣系統(tǒng)排出廢氣的有害物質(zhì)，例如有火災、爆炸、有毒等危及生命財產(chǎn)安全的物質(zhì)，在生產(chǎn)工藝設備排出口或在現(xiàn)場排氣處理裝置(POU) 等排出口，進入排風管道處的有告濃度應有嚴格限制，以確保排風管道至排人大氣的排氣間的路由管道、設備區(qū)其周圍環(huán)境的安全。在標淮規(guī)范中明確規(guī)定的有.燒類尾氣處理系統(tǒng)處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應保持在萁燃燒范圃卞限值的 25%以下，為防止運行過程中排氣管道內(nèi)“超過限值”，通常應設有稀釋措施;當采用轉(zhuǎn)輪濃縮處理揮發(fā)性有機物廢氣時，濃縮后的揮發(fā)性有機物廢氣濃度不應大于燃燒范圍下限的50%等。

　　在設計和搭建電子潔凈廠房排氣系統(tǒng)時，需要充分考慮潔凈度要求、空氣流動情況、設備選擇和安裝等因素，以確保潔凈廠房內(nèi)空氣質(zhì)量符合要求，保障生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和員工的健康。